近场扫描光学显微镜NSOM也习惯称为扫描近场光学显微镜SNOM，是用于纳米材料表征*可获得优于光波长分辨率的手段。通常与原子力显微镜AFM结合使用，因此可以获得材料光学与形貌相关的信息。

近场扫描光学显微镜技术参数：
1 NSOM操作模式: 透射模式，反射模式，收集模式，照明模式
2 原子力显微镜AFM操作模式: 敲击模式，接触模式选配，所有探针或样品扫描的AFM操作模式
3 微分干涉对比DIC : 反射和透射
4 折射率成像Refractive-Index Profiling: 反射和透射
5 在线远场共聚焦和拉曼及荧光光谱成像: 反射和透射，针对选择性拉曼散射超薄膜的探针增强拉曼散射
6 热传导及扩展电阻成像: 接触模式，敲击模式，音叉反馈模式无反馈激光引入干扰信号,选配；热探针可作为纳米加热器使用，纳米热分析、纳米相转变等应用。

SPM扫描头规格：
1 样品扫描器：压电材料制薄片扫描器 3D Flat Scanner™；厚度为7毫米
2 SPM扫描范围： 样品扫描，zui大100 microns XYZ
3 扫描分辨率： < 0.005 nm Z
< 0.015 nm XY
< 0.002 nm XY 低电压模式
4 粗调定位范围：6毫米
5 反馈机制：悬臂梁光束反弹反馈，音叉反馈选配
6 样品尺寸：标准配置下,直径zui大至16毫米；正置显微镜下使用,直径zui大至34毫米 特殊样品形状：如竖直样品进行边缘成像等
7 探针：各种针尖外露的玻璃探针，各种常规悬臂梁硅探针均可使用

近场扫描光学显微镜成像分辨率：

1 远场： 受光衍射几何限制

2 光学： 500纳米
3 共聚焦： 200纳米
4 近场扫描光学： 100纳米，条件下可达到50纳米由探针孔径决定
5 形貌： Z向噪声0.05纳米 rms；XY横向分辨率：由针尖直径和样品的卷积决定
6 热成像： 100纳米起，温度灵敏度0.01ºC，300 ºC或更高由样品决定
7 电阻成像： 25纳米